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本報記者 施露

據必聯網5月23日發布的中標結果公告顯示，萬業企業旗下嘉芯迦能的雙燃燒+雙水洗尾氣處理設備中標特色工藝生產線建設項目，中標數量為23臺。

據悉，自2022下半年開始，萬業企業子公司嘉芯半導體多次中標多款設備，包含氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設備（PVD）以及快速熱處理（RTP）等。

萬業企業持續支持國產設備的成長與研發，以自主研發與外延式并購雙輪驅動戰略布局半導體設備材料賽道。目前公司旗下的凱世通和嘉芯半導體已疊加形成多個半導體前道核心設備產品線，業務覆蓋離子注入機、刻蝕機、薄膜沉積、快速熱處理等多類設備。公司以國內獨有的“1+N”半導體設備平臺公司的多品類賽道，致力于推動中國集成電路產業的蝶變躍升。

（編輯 田冬）